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立式(shi)管式(shi)電爐(lu)(lu)公(gong)司采用化技術，自行研制(zhi)(zhi)開發的高性能高節能的新型(xing)電爐(lu)(lu)，產品(pin)具有的合理結構，廣泛應用在薄(bo)膜生長、電極測試、氧(yang)化物晶體生長、退(tui)火等新工(gong)藝領域(yu)。配合真空和氣路控制(zhi)(zhi)組成(cheng)CVD控制(zhi)(zhi)系統，用于(yu)氣相沉積法制(zhi)(zhi)備石(shi)墨烯

一、操作(zuo)便(bian)捷性；1、氣路(lu)連接方式采用(yong)了快速連接法蘭結構。2、使取放物料過(guo)程簡化，只需一支卡(ka)箍(gu)便(bian)可(ke)完(wan)成氣路(lu)連接，方便(bian)操作(zuo)。3、取消了復(fu)雜的法蘭安(an)裝過(guo)程，減少(shao)了爐管因安(an)裝造成損壞的可(ke)能。

操(cao)作(zuo)便捷(jie)性；1、氣(qi)路(lu)連接(jie)方式采用了快(kuai)速連接(jie)法蘭結構。2、使(shi)取放物料(liao)過程簡化，只需一支卡箍(gu)便可(ke)完成(cheng)氣(qi)路(lu)連接(jie)，方便操(cao)作(zuo)。3、取消了復雜的(de)法蘭安(an)裝(zhuang)過程，減少了爐管因安(an)裝(zhuang)造成(cheng)損壞的(de)可(ke)能。

立(li)式(shi)單(dan)溫(wen)區1400℃管式(shi)電(dian)爐(lu)(lu)(lu)，1200度立(li)式(shi)管能夠實現(xian)在(zai)真(zhen)空(kong)或氣氛(fen)保護(hu)條件(jian)下對樣品快速加(jia)熱和淬火，50段(duan)可編程溫(wen)度控制(zhi)器。加(jia)熱爐(lu)(lu)(lu)膛(tang)有左右兩(liang)部(bu)分組成(cheng)，其中(zhong)上部(bu)爐(lu)(lu)(lu)膛(tang)可整體向后翻(fan)轉，方便取(qu)放、觀察實驗物料，爐(lu)(lu)(lu)膛(tang)材(cai)料采用的多晶莫(mo)來纖(xian)維(wei)真(zhen)空(kong)吸附制(zhi)成(cheng)，節能50%，溫(wen)場均勻。電(dian)熱元件(jian)采取(qu)高電(dian)阻合金絲0Cr27Al7Mo2。密封(feng)法蘭采用雙環密封(feng)技術，有效的提高了(le)爐(lu)(lu)(lu)管兩(liang)端的氣密性(xing)。